設(shè)備技術(shù)參數(shù)：

　　1.1、鐘罩:尺寸500mm×550mm，材料:SUS304;內(nèi)不銹鋼皮隔熱，升降高度為350mm;

　　1.2、機臺:尺寸約1550mmX900mm×1100mm(含控制);

　　1.3、極限真空度:2.0×10-1Pa;

　　1.4、壓升率:≤5Pa/h;

　　1.5、托樣臺移動:上下升降范圍為±25m;要求上下升降時左右晃動く士3%;

　　1.6、工作壓力:采用薄膜規(guī)壓力表，測量范國:0～10kPa;工作時恒定在1kPa～5kPa中的任一壓力值，恒定的壓力數(shù)值變化正負(fù)0.1kPa;

　　1.7、進(jìn)氣位置:鐘罩頂部進(jìn)氣，抽氣口位置位于托樣臺正下方;

　　1.8、控制系統(tǒng):PLC控制器+線路+10寸觸摸屏(品牌:歐姆龍/昆能通泰);

　　1.9、充氣系統(tǒng):2路充氣系統(tǒng)，流量計品牌:七星華創(chuàng)，流量范圍:0-2000sccm和0-200sccm;

　　閥門:氣動閥。

　　1.10、真空泵:雙極直聯(lián)式油旋片泵，寧波鮑斯產(chǎn)BSV30;

　　設(shè)備納米涂層優(yōu)勢

　　特性：1、 高硬度，國內(nèi)國際的多項測定表明，納米壓入儀測定的硬度達(dá)到80GPa(HV8000),經(jīng)由納米金剛石鍍膜的工具及產(chǎn)品，硬度遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于未經(jīng)鍍膜的;

　　2、 鍍膜與基體的結(jié)合度，不會產(chǎn)生鍍膜層脫落;

　　3、摩擦系數(shù)低至0.092-0.105(對金屬鋼);

　　4、 耐磨性能急速提高。許多材料經(jīng)鍍膜后，耐磨性可提升100倍以上;

　　5、耐腐蝕性更好，納米金剛石涂層具有化學(xué)惰性，例如，覆有100納米金剛石涂層的電鍍件，可經(jīng)受300小時的鹽霧試驗，不出現(xiàn)腐蝕變異。